[发明专利]一种传送基板的系统及方法

摘要

本发明公开了一种传送基板的系统及方法，用以解决现有技术中传送基板的系统严重的浪费了气体资源的问题。该系统预真空进样腔内的气体通过气压平衡管路流入真空传送腔中，当预真空进样腔内的第一气压值与真空传送腔内的第二气压值的差值的绝对值小于设定的第一阈值时，将基板传送至真空传送腔，并将真空传送腔内的气体抽出，当第二气压值达到真空气压值时，将基板传送至反应腔。由于本发明实施例中预真空进样腔内的气体通过气压平衡管路流入真空传送腔，当预真空进样腔内的气压值与真空传送腔内的气压值近似相等时，将基板传送至真空传送腔，从而使真空传送腔在将基板传送至反应腔时，抽出的气体的较少，因此节省了气体资源。

主权项

一种传送基板的系统，包括传送基板的传送装置、预真空进样腔、真空传送腔和反应腔，以及预真空进样腔与外界之间的第一闸门、预真空进样腔与真空传送腔之间的第二闸门、真空传送腔与反应腔之间的第三闸门；其特征在于，还包括：控制装置、气压平衡管路、抽气装置、第一气压监测装置和第二气压监测装置；气压平衡管路，连通所述预真空进样腔和所述真空传送腔，其中，所述气压平衡管路中包括阀门，用于根据所述控制装置的控制进行相应的开启或关闭；抽气装置，与所述真空传送腔相连，用于根据所述控制装置的控制将真空传送腔内的气体抽出；第一气压监测装置，位于预真空进样腔中，用于测量预真空进样腔内的第一气压值，并将测量的预真空进样腔内的第一气压值发送给所述控制装置；第二气压监测装置，位于真空传送腔中，用于测量真空传送腔内的第二气压值，并将测量的真空传送腔内的第二气压值发送给所述控制装置；第一闸门、第二闸门和第三闸门，用于根据所述控制装置的控制进行相应的开启或关闭；所述控制装置，用于当基板被传送至预真空进样腔内部时，控制所述第一闸门、第二闸门和第三闸门关闭，并控制连通预真空进样腔和真空传送腔的气压平衡管路中的阀门开启，使预真空进样腔内的气体通过所述气压平衡管路流入真空传送腔中；以及用于获取所述第一气压监测装置监测的所述预真空进样腔内的第一气压值和所述第二气压监测装置监测的真空传送腔内的第二气压值，并当所述第一气压值和所述第二气压值的差值的绝对值小于设定的第一阈值时，控制所述第二闸门开启，并控制所述传送装置将所述基板由预真空进样腔传送至真空传送腔中，当所述基板被传送至真空传送腔内部时控制所述第二闸门关闭；以及用于控制所述抽气装置将真空传送腔内的气体抽出，当通过所述第二气压监测装置监测到所述真空传送腔内的第二气压值达到设定的真空气压值时，控制所述第三闸门开启，并控制所述传送装置将所述基板由真空传送腔传送至所述反应腔中。