[发明专利]一种对投影光刻机步进及扫描运动轨迹的规划方法

摘要

本发明是一种对投影光刻机步进及扫描运动轨迹的规划方法，其规划步骤如下：根据步进扫描投影光刻机系统给定的步进以及扫描运动的约束条件，计算各自的限制值，算出关键的时间变量，进而算出各时间切换点，再由时间切换点的值得到加速度的导数的轨迹函数，最后通过积分依次求得加速度、速度以及位移随时间变化的曲线。本发明能够根据步进扫描投影光刻机系统给定的约束条件，得到加速度的导数、加速度、速度以及位移的轨迹曲线，从而为步进扫描投影光刻机的步进及扫描运动控制提供时间最优轨迹。本发明不仅适用于步进扫描投影光刻机装置，对于需要事先知道运动轨迹的加工设备都有一定的适用性。

主权项

一种对步进扫描投影光刻机步进及扫描运动轨迹的规划方法，其特征在于，将轨迹规划方法同时用于步进运动和扫描运动的步骤如下：步骤S1：根据步进运动及扫描运动对限制值的定义，针对运动轨迹轮廓利用几何曲线的对称性与图形面积求积分法，依据步进运动和扫描运动给定的约束条件计算步进运动及扫描运动的限制值；步骤S2：根据运动轨迹轮廓，利用几何曲线的对称性与图形面积求积分法，计算并得到步进运动及扫描运动各自加速度的导数与时间的关系曲线中的关键时间变量；步骤S3：针对关键时间变量，根据步进运动及扫描运动各自加速度的导数与时间的关系曲线中各时间切换点与关键时间变量的关系，计算得到各时间切换点的值；步骤S4：根据步进运动及扫描运动典型轮廓中加速度的导数与时间的关系以及时间切换点的值，计算得到步进运动或扫描运动加速度的导数的函数；步骤S5：对加速度的导数的函数依次求一重、二重和三重积分，进而得到步进运动及扫描运动的加速度、速度和位移随时间变化的曲线。