[发明专利]真空镀膜自动转换装置无效

专利信息
申请号: 201110210047.7 申请日: 2011-07-26
公开(公告)号: CN102899616A 公开(公告)日: 2013-01-30
发明(设计)人: 黄水祥 申请(专利权)人: 御林汽配(昆山)有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22;C23C14/56
代理公司: 昆山四方专利事务所 32212 代理人: 盛建德
地址: 215325 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种真空镀膜自动转换装置包括并排相连的进料室、真空镀膜室和出料室,进料室与真空镀膜室之间以及真空镀膜室与出料室之间分别设有能密封关闭的第二闸门和第三闸门,进料室设有用于托架滑动的第一轨道、控制托架沿第一轨道滑动的第一滑动机构以及能送入托架并密封关闭的第一闸门;真空镀膜室设有能由第一轨道上托架通过第二闸门滑入的第二轨道、控制托架沿第二轨道滑动的第二滑动机构;出料室设有由第二轨道上托架通过第三闸门能滑入的第三轨道、控制托架沿第三轨道滑动的第二滑动机构以及能取出托架并密封关闭的第四闸门,第一、第二和第三滑动机构分别设于对应轨道上并能支撑托架滑动的滚轮组,各滚轮组分别通过对应驱动马达控制滚动。
搜索关键词: 真空镀膜 自动 转换 装置
【主权项】:
一种真空镀膜自动转换装置,包括并排相连的进料室(21)、真空镀膜室(20)和出料室(22),其特征在于:该进料室(21)与真空镀膜室(20)之间,以及该真空镀膜室(20)与出料室(22)之间分别设有能密封关闭的第二闸门(23b)和第三闸门(23c),其中:1)该进料室(21)设有用于托架滑动的第一轨道(30a)、控制托架沿该第一轨道(30a)滑动的第一滑动机构以及能送入托架并密封关闭的第一闸门(23a);2)该真空镀膜室(20)设有能由该第一轨道(30a)上托架通过该第二闸门(23b)滑入的第二轨道(30b)、控制托架(46)沿该第二轨道(30b)滑动的第二滑动机构;3)该出料室(22)设有由该第二轨道(30b)上托架通过该第三闸门(23c)能滑入的第三轨道(30c)、控制托架沿该第三轨道(30c)滑动的第二滑动机构以及能取出托架并密封关闭的第四闸门(23d)。
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