[发明专利]一种取样光栅的制作方法有效
| 申请号： | 201110210161.X | 申请日： | 2011-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN102279429A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 陈新荣;李朝明;吴建宏 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;B24B19/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种取样光栅的制作方法，包括：提供基板，并在所述基板上制作取样光栅；测量所述取样光栅上各个区域的衍射效率；当所述取样光栅上某区域的衍射效率大于预设的衍射效率范围时，对该区域进行研磨，直至该区域的衍射效率在预设的衍射效率范围内。本发明的制作方法可以制作出的均匀性较好的取样光栅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 取样 光栅 制作方法 | ||
【主权项】：
一种取样光栅的制作方法，其特征在于，包括：A、提供基板，并在所述基板上制作取样光栅；B、测量所述取样光栅上各个区域的衍射效率；C、当所述取样光栅上某区域的衍射效率大于预设的衍射效率范围时，对该区域进行研磨，直至该区域的衍射效率在预设的衍射效率范围内。
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