[发明专利]一种用于CO2激光器的射频电源

摘要

本发明公开了一种用于CO2激光器的射频电源，它包括正弦波信号源、功率放大器和阻抗匹配器；正弦波信号源与功率放大器的输入端连接，功率放大器的输出端与阻抗匹配器的输入端连接；抗匹配器的输出端与激光器的放电电极连接，并与激光放电气体匹配。由功率放大器输出的功率通过阻抗匹配器耦合到射频CO2激光器的电极，电极对主要成分为CO2的气体放电，放电气体产生等离子体，由此在激光谐振腔内产生激光。该装置和激光头是分体的，这样有利于散热，整个装置放置在金属外壳内，防止射频信号向外辐射。

主权项

一种用于CO2激光器的射频电源，其特征在于，该射频电源包括正弦波信号源(1)、功率放大器(2)和阻抗匹配器(3)；正弦波信号源(1)与功率放大器(2)的输入端连接，功率放大器(2)的输出端与阻抗匹配器(3)的输入端连接；抗匹配器(3)的输出端与激光器(4)的放电电极连接，并与激光放电气体匹配。