[发明专利]一种环半径和环厚度可调的干涉仪环形光源系统无效
| 申请号： | 201110211500.6 | 申请日： | 2011-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN102410500A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 徐燕;万勇建;吴永前 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | F21V14/06 | 分类号： | F21V14/06 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉;顾炜 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种环半径和环厚度可调的干涉仪环形光源系统包括：激光光源、扩束准直光学系统、可变光阑、二元相位光栅、变焦光学系统和空间滤波器；激光光源经过扩束准直系统后变成平行光，再经过可变光阑对光束的直径大小进行调节，以控制垂直入射到二元相位光栅上的光束直径大小；光束经过可变光阑调节直径大小后垂直入射到二元相位光栅上，二元相位光栅后为变焦光学系统，在变焦光学系统的后焦面上放置空间滤波器接收环形光源，通过调节变焦系统的焦距f1的大小分别改变环形光源的环厚度和环半径。本发明可以为高精度干涉仪提供照明，能有效降低干涉仪系统的相干噪声，提高干涉仪的信噪比和测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半径 厚度 可调 干涉仪 环形 光源 系统 | ||
【主权项】：
一种环半径和环厚度可调的干涉仪环形光源系统，其特征在于包括：激光光源(101)、扩束准直光学系统(102)、可变光阑(104)、二元相位光栅(105)、变焦光学系统(106)和空间滤波器(107)；激光光源(101)经过扩束准直系统(102)后变成平行光，再经过可变光阑(104)对光束的直径大小进行调节，以控制垂直入射到二元相位光栅(105)上的光束直径大小；光束经过可变光阑(104)调节直径大小后垂直入射到二元相位光栅(105)上，二元相位光栅(105)后为变焦光学系统(106)，在变焦光学系统(106)的后焦面上放置空间滤波器(107)接收环形光源，通过调节变焦系统(106)的焦距f1的大小分别改变环形光源的环厚度和环半径。
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