[发明专利]激光刻蚀OLED显示器阴极薄膜材料的装置及其方法

摘要

本发明涉及激光刻蚀OLED显示器阴极薄膜材料的装置及方法，高频率短脉冲激光器的输出端布置有电动光闸和电动扩束镜，电动扩束镜输出端布置有1/2波片，1/2波片输出端布置有偏振分光镜，偏振分光镜输出端布置有第一半透半反镜和第一45度反射镜片，第一半透半反镜输出端布置有第一聚焦镜和第二45度反射镜片，第二45度反射镜片输出端布置有第二聚焦镜，第一45度反射镜片输出端布置有第二半透半反镜，第二半透半反镜输出端布置有第三聚焦镜和第三45度反射镜片，第三45度反射镜片输出端布置有第四聚焦镜，聚焦镜输出端正对于二轴吸附平台。OLED显示器阴极材料在高频率的短脉冲激光器的作用下气化而达到蚀除的目的，四路光束实现阴极区域线条刻蚀。

主权项

激光刻蚀OLED显示器阴极薄膜材料的装置，其特征在于：高频率短脉冲激光器（1）的输出端布置有电动光闸（2），电动光闸（2）的输出端设置有电动扩束镜（3），电动扩束镜（3）的输出端布置有1/2波片（4），1/2波片（4）的输出端布置有偏振分光镜（5），偏振分光镜（5）的输出端布置有第一半透半反镜（6）和第一45度反射镜片（16），第一半透半反镜（6）的输出端布置有第一聚焦镜（13）和第二45度反射镜片（17），第二45度反射镜片（17）的输出端布置有第二聚焦镜（19），第一45度反射镜片（16）的输出端布置有第二半透半反镜（7），第二半透半反镜（7）的输出端布置有第三聚焦镜（20）和第三45度反射镜片（18），第三45度反射镜片（18）的输出端布置有第四聚焦镜（21），第一聚焦镜（13）、第二聚焦镜（19）、第三聚焦镜（20）和第四聚焦镜（21）的输出端正对于二轴吸附平台（11），所述二轴吸附平台（11）的上方布置有CCD对位观察系统（15），所述二轴吸附平台（11）上安装有一组夹紧气缸（9），所述二轴吸附平台（11）的一侧布置有吹气系统，二轴吸附平台（11）的另一侧安装有集尘系统（12），二轴吸附平台（11）的上表面还分布有支撑球（10）。