[发明专利]一种多晶硅片酸性制绒液的添加剂及使用方法有效

专利信息
申请号: 201110212876.9 申请日: 2011-07-27
公开(公告)号: CN102330091A 公开(公告)日: 2012-01-25
发明(设计)人: 符黎明;李明;陈培良 申请(专利权)人: 常州时创能源科技有限公司
主分类号: C23F1/24 分类号: C23F1/24;C30B33/10
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 代理人: 刘冬梅
地址: 213300 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种多晶硅片酸性制绒液的添加剂、含有所述添加剂的酸性制绒剂及其制备方法,以及使用该添加剂或者酸性制绒剂对多晶硅片进行制绒的方法。本发明可以得到均匀性好、晶粒间无明显色差的绒面,绒面尺寸细小均匀。本发明的添加剂无毒性,无腐蚀性,无刺激性,无燃烧和爆炸危险,对人体和环境无危害;并且,溶液的配置和使用工艺简单,设备低廉,重复性好。
搜索关键词: 一种 多晶 硅片 酸性 制绒液 添加剂 使用方法
【主权项】:
一种用于多晶硅片酸性制绒液的添加剂,其特征在于其中包含的组分为:三乙醇胺、聚乙烯吡咯烷酮和余量的水,其中所述水优选为去离子水。
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