[发明专利]一种多晶硅片酸性制绒液的添加剂及使用方法有效
申请号: | 201110212876.9 | 申请日: | 2011-07-27 |
公开(公告)号: | CN102330091A | 公开(公告)日: | 2012-01-25 |
发明(设计)人: | 符黎明;李明;陈培良 | 申请(专利权)人: | 常州时创能源科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/24 | 分类号: | C23F1/24;C30B33/10 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 刘冬梅 |
地址: | 213300 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种多晶硅片酸性制绒液的添加剂、含有所述添加剂的酸性制绒剂及其制备方法,以及使用该添加剂或者酸性制绒剂对多晶硅片进行制绒的方法。本发明可以得到均匀性好、晶粒间无明显色差的绒面,绒面尺寸细小均匀。本发明的添加剂无毒性,无腐蚀性,无刺激性,无燃烧和爆炸危险,对人体和环境无危害;并且,溶液的配置和使用工艺简单,设备低廉,重复性好。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 硅片 酸性 制绒液 添加剂 使用方法 | ||
【主权项】:
一种用于多晶硅片酸性制绒液的添加剂,其特征在于其中包含的组分为:三乙醇胺、聚乙烯吡咯烷酮和余量的水,其中所述水优选为去离子水。
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