[发明专利]一种降低对通隔离扩散横向扩散宽度的结构及方法有效
| 申请号： | 201110213223.2 | 申请日： | 2011-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN102244093A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 黎重林;王成森 | 申请（专利权）人： | 启东市捷捷微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/74;H01L21/332 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 卢海洋 |
| 地址： | 226200 江苏省南通*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种降低对通隔离扩散横向扩散宽度的结构及方法，其特征在于：包括抑制横向扩散用环形槽、正面对通隔离扩散区和背面对通隔离扩散区，所述正面对通隔离扩散区内侧设有抑制横向扩散用环形槽，所述抑制横向扩散用环形槽一侧设有环形钝化槽。本发明的优点是：采用了抑制横向扩散用环形槽的方式，降低了对通隔离扩散过程中形成的横向扩散宽度，有效降低了横向扩散宽度对VRRM电压特性的影响，提高了击穿电压及产品良率；同时采用正面对通隔离扩散区环宽窄、背面对通隔离扩散区环宽宽的结构，提高了背对通隔离扩散速度，扩散时间比原来减少了15-20h。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降低 隔离 扩散 横向 宽度 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种降低对通隔离扩散横向扩散宽度的结构，其特征在于：包括抑制横向扩散用环形槽、正面对通隔离扩散区和背面对通隔离扩散区，所述正面对通隔离扩散区内侧设有抑制横向扩散用环形槽，所述抑制横向扩散用环形槽一侧设有环形钝化槽。
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