[发明专利]保持装置及基板断开装置有效
| 申请号： | 201110215554.X | 申请日： | 2011-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN102399053A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 冈岛康智;池田健一郎 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/02 | 分类号： | C03B33/02;B28D1/22 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 孟锐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够良好地保持呈立起姿势的平板状工件的保持装置、及具有该保持装置的基板断开装置。基板断开装置(1)主要包含搬送单元(50)、非接触保持单元(80)、及断开单元(85)。搬送单元(50)的固定机构(60)对于工件的外缘部进行接触保持。非接触保持单元(80)对于工件的主面进行非接触保持。由此，即便当无法对于工件的主面进行接触保持时，也能良好地保持工件，并沿着脆性材料基板上的刻划线良好地进行断开。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 装置 断开 | ||
【主权项】：
一种保持装置，保持呈立起姿势的平板状工件，其特征在于，包含：(a)保持单元，对于呈立起姿势的所述工件的外缘部进行接触保持；及(b)非接触保持单元，设置成与所述保持单元相向，对于由所述保持单元所接触保持的所述工件的主面进行非接触保持；且所述非接触保持单元包含：(b‑1)安装台，设置成铅垂面与所述保持单元相向；及(b‑2)多个吸引部，各自设置在所述安装台的所述铅垂面上，通过拉近相向的呈立起姿势的所述工件，而以非接触状态保持所述工件。
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