[发明专利]花篮式气浮硅片自动分离机构

摘要

本发明公开了一种花篮式气浮硅片自动分离机构，解决了硅片分离速度低和传送硅片时碎片率高的问题。包括PLC、花篮导轨（1）和花篮（2），在花篮（2）的两侧分别设置有气浮硅片自动分离部件（4），它包括立柱架体（6）、倒T字形连接架（7）、T字形连接架（8）和门字形平躺架（9），T字形连接架（8）可升降；在T字形连接架（8）的横梁上沿水平前后方向分别设置有门字形平躺架体（9）的两个水平竖梁导轨（13），在竖梁导轨（13）上设置有水平方向的横向长条孔实现门字形平躺架（9）在水平方向上的前后移动，在门字形平躺架（9）的横梁通气轴（15）上活动设置有可转动的气浮块（16），实现硅片传送的高效自动化作业。

主权项

一种花篮式气浮硅片自动分离机构，包括PLC和花篮导轨（1），在花篮导轨（1）上活动设置有花篮（2），花篮（2）包括花篮底座、四组柔性导向同步带部件、活动底板及降料配重板，花篮（2）下方设置有硅片升降机构（3），在花篮（2）上方设置有负压吸取硅片机构（5），其特征在于，在花篮（2）的两侧分别设置有气浮硅片自动分离部件（4），气浮硅片自动分离部件（4）包括立柱架体（6）、倒T字形连接架（7）、T字形连接架（8）和门字形平躺架（9），倒T字形连接架（7）沿上下方向垂直设置在立柱架体（6）的顶端，在T字形连接架（8）的立柱上设置有竖向长条孔（10），第一固定螺钉（11）通过竖向长条孔（10）将T字形连接架（8）沿上下方向垂直固定在倒T字形连接架（7）的上面，通过调节第一固定螺钉（11）在竖向长条孔（10）的位置实现T字形连接架（8）的升起和降下，在T字形连接架（8）的横梁上沿水平前后方向分别设置有门字形平躺架体（9）的两个水平竖梁导轨（13），在竖梁导轨（13）上设置有水平方向的横向长条孔，通过调节第二固定螺钉（14）在横向长条孔中的位置，实现门字形平躺架（9）在水平方向上的前后移动，在门字形平躺架（9）的横梁通气轴（15）上活动设置有可转动的气浮块（16），在横梁通气轴（15）的端部设置有进气孔（17）。