[发明专利]正压冷却工艺

摘要

本发明涉及一种正压冷却工艺，包括停炉1小时，向炉体充入氮气，冷却1小时；关闭主室球阀、停止主室泵，打开真空过滤罐放气，炉体继续充入氮气，接近大气压时，打开主室球阀，使真空过滤罐进行放气；4小时后，关闭氮气，完成冷却。还可以停炉2小时，向炉体充入氮气；关闭主室球阀、停止主室泵，打开真空过滤罐放气，炉体继续充入氮气，接近大气压时，打开副室炉筒导泄阀放气，有放气效应后，打开主室球阀导气至真空过滤罐放气，关闭副室炉筒导泄阀；6小时后，关闭氮气，完成冷却。本发明克服了现有技术中采用真空泵将炉体抽至真空后，对产品进行冷却，减少了设备的使用量；同时，采用氮气进行冷却，降低了气体使用的成本。

主权项

一种正压冷却工艺，加工时，单晶硅棒放置在炉体内，向炉体内部不间断的充入氩气，炉体内的产品处于高温半熔体状态，其特征在于：冷却时，按以下步骤进行：（1）、停炉1小时，关闭氩气向炉体内充入氮气，冷却1小时；（2）、关闭炉体主室球阀、停止炉体主室泵，打开与炉体相连接的真空过滤罐的阀柱进行放气，使炉体内的压力达到常压，同时继续向炉体内充入氮气，使炉体内始终处于正压环境下，接近大气压时，打开炉体主室球阀，使真空过滤罐进行自然放气；（3）、4小时后，关闭氮气，完成冷却。