[发明专利]微影过程中临界尺寸的测试标记

摘要

本发明涉及一种微影过程中临界尺寸的测试标记，包括依次连接并形成一矩形方框的第一、第二、第三、第四标记棒，用于测试独立线临界尺寸；相邻两个标记棒形成的直角区域用于测试图案的直角圆形化情况；方框内包括第一、第二、第三组测试棒，第一、第二、第三组测试棒与第一标记棒平行，第二、第三组测试棒包括第一部分和第二部分；第一组测试棒与第二、第三组测试棒的第一部分形成密集线测试棒；第二、第三组测试棒的第二部分形成半密集线测试棒；第三组测试棒的末端邻近所述第二标记棒，用于测试图案的线端或者间隙端。本发明的测试标记包含的图案信息多，结构简单，占用面积小，成本低。

主权项

一种微影过程中临界尺寸的测试标记，其特征在于，包括：第一标记棒、第二标记棒、第三标记棒、第四标记棒，所述第一、第二、第三、第四标记棒依次连接形成一矩形方框，所述第一、第二、第三、第四标记棒用于测试独立线临界尺寸；形成于所述方框内且依次设置的第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七测试棒，所述第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七测试棒包括相互垂直的第一边和第二边，所述第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七测试棒的第一边与所述第一标记棒平行，所述第二、第四、第六测试棒的第一边包括第一部分和第二部分，所述第一、第三、第五、第七测试棒的第一边与所述第二、第四、第六测试棒的第一边的第一部分形成密集线测试棒，用于测试密集线或者密集间隙的临界尺寸，所述第二、第四、第六测试棒的第一边的第二部分形成半密集线测试棒，用于测试半密集线或者半密集间隙的临界尺寸，所述第四测试棒的第一边的末端邻近所述第二标记棒，用于测试图案的线端或者间隙端。