[发明专利]一种用于光刻投影物镜安装的调平定位装置无效
| 申请号： | 201110218870.2 | 申请日： | 2011-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN102289154A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 向阳;齐克奇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 刘树清 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种用于光刻投影物镜安装的调平定位装置，属于光刻投影技术领域中涉及的一种调平定位装置。要解决的技术问题是：提供一种用于光刻投影物镜安装的调平定位装置。解决的技术方案包括微调机构和粗调机构，微调机构在上部，粗调机构在下部。微调机构与已有技术的结构相同。粗调机构主要包括三个粗调支腿、三个微调机构限位柱、两个辅助支腿和基座。三个粗调支腿通过基座上的三个成等腰三角形分布的粗调支腿安装孔安装在基座下部，两个辅助支腿通过基座上的两个辅助支腿安装孔安装在基座下部。两个辅助支腿和投影物镜安装孔开口一侧两边粗调支腿的连线构成一个矩形，并且投影物镜的安装位置与该矩形的形心重合。克服了原有技术调整区间小的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 投影 物镜 安装 平定 装置 | ||
【主权项】：
一种用于光刻投影物镜安装的调平装置，包括微调机构，其特征在于还包括粗调机构；微调机构在上部，粗调机构在下部，整个微调机构通过粗调机构中基座(32)上的固定基板螺纹孔(47)，用固定螺钉(24)与粗调机构固连。
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