[发明专利]一种感应热/电沉积制备涂层或薄膜的装置及方法无效
| 申请号： | 201110221231.1 | 申请日： | 2011-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN102277603A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 熊信柏;曾燮榕;邹继兆;谢盛辉;钱海霞;黎晓华 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C25D5/00 | 分类号： | C25D5/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种感应热/电沉积制备涂层或薄膜的装置及方法，该装置包括可通不断冷却循环溶液的沉积槽，放置在沉积槽内与电源连接的两个电极，以及放置沉积槽的感应线圈和连接感应线圈的感应电源。本发明将电沉积槽置于感应线圈之中，从而使电沉积与感应热沉积融为一体，不仅保持了电沉积和感应热沉积非线性的工艺优点，而且可对样件临近表面区域的温度和pH值同时进行调控，从而更有利于涂层组成、物相、形貌和性能的控制，避免了电沉积工艺涂层或薄膜结合力差，而感应热沉积的涂层或薄膜组成、物相和形貌控制条件不足的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 感应 沉积 制备 涂层 薄膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种感应热/电沉积制备涂层或薄膜的装置，其特征在于：包括感应电源(6)以及与感应电源(6)相连的冷水机(7)和感应线圈(5)，该装置还包括一“n”型的具有相连通的两个腔体的沉积槽(4)，在所述沉积槽(4)的两个腔体内分别设置有与电源(13)相连接的电极(11、12)，其中一个腔体设置在感应线圈(5)内，夹持试样的电极(11)位于感应线圈内，且在所述沉积槽(4)上还设置有密封盖(14)，沉积槽(4)还通过出液管(10)、冷却管(9)、循环泵(2)、回液管(3)与溶液槽(1)相连形成闭合回路。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳大学，未经深圳大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110221231.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：扎带卡固装置
- 下一篇：一种立式车床用横梁导轨
