[发明专利]氟化氩光掩模盒运送装置和方法无效
| 申请号： | 201110222121.7 | 申请日： | 2011-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN102431727A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 毛智彪;王剑;戴韫青 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B65D81/20 | 分类号： | B65D81/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种运送氟化氩光掩模盒的装置和方法，该装置至少包括：一氟化氩光掩模运送小车，小车上放置至少一个氟化氩光掩模盒，小车上还有一个安全气柜用以存放已放置惰性气体源的气体钢瓶，气体钢瓶与氟化氩光掩模盒之间使用气体管路连接。本发明使用内置有惰性气体源的运输装置运送氟化氩光掩模盒的方法，从而解决了在生产中在光掩模盒充气存储柜和光刻机之间运送氟化氩光掩模盒没有惰性气体充气的问题，并能防止氧气从过滤膜进入氟化氩光掩模盒，避免掩模板上面产生雾状污染物,可以有效地延长氟化氩光掩模盒的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化 氩光掩模盒 运送 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于运送存放掩模板的氟化氩光掩模盒的装置，其特征在于，其至少包括：一氟化氩光掩模板运送小车，小车上放置至少一个氟化氩光掩模盒，小车上还有一个安全气柜用以存放已放置惰性气体源的气体钢瓶，气体钢瓶与氟化氩光掩模盒之间使用气体管路连接。
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B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65D 用于物件或物料贮存或运输的容器，如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器；所用的附件、封口或配件；包装元件；包装件
B65D81-00 用于存在特殊运输或贮存问题的装入物，或适合于在装入物取出后用于非包装目的的容器、包装元件或包装件
B65D81-02 . 特别适于防止内装物受力损坏
B65D81-18 . 为内装物提供特殊环境，例如高于或低于室温
B65D81-24 . 适于防止内装物变质或腐败；应用食品防腐剂、杀菌剂、杀虫剂或动物防蛀剂的容器或包装材料
B65D81-32 . 用于包装两种或多种不同的物料，这些物料在混合使用前必须保持分开
B65D81-34 . 用于包装打算在包装件内烹调或加热的食物
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