[发明专利]用组合测量确定表面特征的设备和方法无效
| 申请号： | 201110224798.4 | 申请日： | 2011-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN102384899A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 彼得·施瓦茨 | 申请（专利权）人： | 毕克-加特纳有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/49 | 分类号： | G01N21/49;G01N21/57 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 薛琦;朱水平 |
| 地址： | 德国盖*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用组合测量确定表面特征的设备和方法。该设备包括至少一个向该被测表面发射辐射线的第一辐射装置以及至少一个第一辐射探测装置，该第一辐射探测装置接收由至少一个辐射装置发出的、从该被测表面散射开来的至少部分辐射线、并输出至少一种标识所接收到的辐射线的特性的检测信号，还包括用于对该被测表面进行光泽度检测的第二辐射装置和第二辐射探测装置，该第二辐射装置以预设的入射角度向该被测表面发射辐射线，该第二辐射探测装置接收由至少该第二辐射装置辐射出的、从该被测表面反射出来的至少部分辐射线。该第二辐射装置向该被测表面发射辐射线的该入射角度不大于50°，该入射角度为辐射线的入射方向与该被测表面的法线方向所成的角度。 | ||
| 搜索关键词： | 组合 测量 确定 表面 特征 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于测定被测表面(10)的表面特征的设备(1)，该设备包括至少一个向该被测表面(10)上发射辐射线的第一辐射装置(2)以及至少一个第一辐射探测装置(4)，该第一辐射探测装置接收由该至少一个辐射装置(2)发出的且随后从该被测表面(10)散射开来的至少部分辐射线、并且输出至少一种标识被接收的辐射线的特性的检测信号，该设备还包括用于对该被测表面(10)进行光泽度检测的一第二辐射装置(12)和一第二辐射探测装置(14)，其中，该第二辐射装置(12)以一个预设的入射角度(a)向该被测表面(10)发射辐射线，并且该第二辐射探测装置(14)接收由至少该第二辐射装置(12)辐射出的且随后从该被测表面(10)反射出来的至少部分辐射线，其特征在于，该第二辐射装置(12)向该被测表面(10)发射辐射线的该入射角度(a)不大于50°，该入射角度为辐射线的入射方向与该被测表面(10)的一法线方向(M)所成的角度。
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