[发明专利]新型IC封装制造工艺无效
申请号: | 201110225535.5 | 申请日: | 2011-08-08 |
公开(公告)号: | CN102290354A | 公开(公告)日: | 2011-12-21 |
发明(设计)人: | 陈胜华 | 申请(专利权)人: | 慈溪市永旭丰泰电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/60;H01L21/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315300 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种新型的IC封装制造工艺,包括底片制造工艺、盖板制造工艺以及底片和盖板的封装工艺,其中底片制造工艺包括底片制作;开料;钻孔;沉铜;加厚铜;图形转移;图形电镀;退膜;半孔加工;蚀刻;退锡;阻焊;化金;盖板制造工艺包括盖板备料;盖板开料;背胶;机加工;清洗;底片和盖板的封装工艺包括压合;烘烤;清洗;终检。本发明的有益效果在于:制造出来的线条精度高,蚀刻后无残铜且线条光滑,盖板不变形,无严重溢胶,盖板与主板的结合力达到10KG以上,机械加工后基板无分层,半孔无毛刺,外形边缘整齐,无粉尘。 | ||
搜索关键词: | 新型 ic 封装 制造 工艺 | ||
【主权项】:
一种新型IC封装制造工艺,其特征在于:包括依次进行的底片制造工艺、盖板制造工艺以及底片和盖板的封装工艺,所述的底片制造工艺包括:步骤1.1,底片制作;步骤1.2,开料;步骤1.3,钻孔,即在底片上冲钻基准孔;步骤1.4,沉铜,即在底片的基材表面和基准孔上沉上一层化学薄铜;步骤1.5,加厚铜,即再一次沉铜,以使铜层厚度增加;步骤1.6,图形转移;步骤1.7,图形电镀;步骤1.8,退膜,步骤1.9,半孔加工;步骤1.10,蚀刻;步骤1.11,退锡;步骤1.12,阻焊;步骤1.13,化金,完成底片的制作;所述的盖板制造工艺包括:步骤2.1,盖板备料;步骤2.2,盖板开料;步骤2.3,背胶;步骤2.4,机加工;步骤2.5,清洗,完成盖板的制作;所述的底片和盖板的封装工艺包括:步骤3.1,压合;步骤3.2,烘烤; 步骤3.3,清洗,完成封装工艺。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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