[发明专利]LED晶粒扫瞄与点测的运作系统及运作方法

摘要

一种LED晶粒扫瞄与点测的运作系统及运作方法，用于检测自晶圆承载装置输出的LED晶粒载具上的LED晶粒，该LED晶粒扫瞄与点测的运作系统包括一输送带、一组用于搬运LED晶粒载具的汲取装置、至少一个设置于该输送带任一侧的扫描装置及一个以上设置于该输送带任一侧上的LED晶粒点测装置，而该输送带将该LED晶粒载具运送进入该扫描装置内时，会对该LED晶粒载具上的晶粒进行坐标扫描与储存，之后，会再由该输送带将该LED晶粒载具运送进入任一LED晶粒点测装置，以对该LED晶粒载具上的晶粒进行点测。本发明能够将晶粒扫描与晶粒点测流程一致化，不再需要人工进行搬运，可大幅提升晶粒点测的效率，节省制造成本与人力成本。

主权项

一种LED晶粒扫瞄与点测的运作系统，用于检测自晶圆承载装置输出的LED晶粒载具上的LED晶粒，其特征在于，该LED晶粒扫瞄与点测的运作系统包括：一输送带；一组可于该晶圆承载装置及输送带位置之间作动的汲取装置，用于搬运LED晶粒载具；至少一个扫描装置，设置于该输送带的任一侧，该输送带使该LED晶粒载具运送进入该扫描装置内，以对该LED晶粒载具上的晶粒进行坐标扫描与储存；以及一个以上的LED晶粒点测装置，设置于该输送带的任一侧上，以使该LED晶粒载具经过坐标扫描后，由该输送带将该LED晶粒载具运送进入任一LED晶粒点测装置，以对该LED晶粒载具上的晶粒进行点测。