[发明专利]旋转涂布制程的成膜装置

摘要

本发明公开了一种旋转涂布制程的成膜装置，此装置具有一旋转平台来承载一基材，于此基材欲使用涂料予施以旋转涂布制程时，可运用本发明的成膜装置来消除或有效减少在旋转涂布完成后，于基材边缘部位所产生的涂料堆积隆起现象，使涂料可均匀地涂布在基材之上，进而减少成品的误差并提高生产良率。

主权项

一种旋转涂布制程的成膜装置，其特征在于，包含：一旋转装置，具有至少一旋转平台，一基材置放于旋转平台上，涂料披覆于该基材的表面；一加热装置，设置于该旋转平台上方。