[发明专利]取代非晶硅薄膜太阳电池的背反射层金属氧化物

摘要

本发明提供一种可取代现有非晶硅薄膜太阳电池背反射电极的方法，本发明之内容为先在透明导电薄膜上依序沉积P型非晶硅薄膜薄膜、本征层非晶硅薄膜、N型微晶硅薄膜以及微晶硅氧薄膜，最后沉积金属导电层薄膜。而其中微晶硅氧薄膜薄膜为透过通入硅烷、氢气、磷烷和二氧化碳于等离子增强式化学气相沉积设备，经由气体流量、等离子输出功率、压力等工艺技术来制备，并经由厚度和折射率的匹配来促成非晶硅薄膜的效率提升，尤其是提升红光光谱的吸收，增加了短路电流的输出。

主权项

一种可提升非晶硅薄膜太阳能电池效率的新颖背反射层技术，其技术方法包括在透明导电薄膜上依序沉积P型非晶硅薄膜薄膜、本征层非晶硅薄膜、N型微晶硅薄膜以及微晶硅氧薄膜，最后沉积金属导电层薄膜。本发明中的微晶硅氧薄膜则是透过通入硅烷、氢气、磷烷和二氧化碳于等离子增强式化学气相沉积设备，经由气体流量、等离子输出功率、压力等工艺技术来制备，并经由厚度和折射率的匹配来促成非晶硅薄膜的效率提升，尤其是提升红光光谱的吸收，增加了非晶硅薄膜太阳能电池的短路电流输出。