[发明专利]一种晶圆测试方法

摘要

一种晶圆测试方法，该方法在进行测试前，通过选择合适的对位标记，在晶圆上建立用于测试的die，并画出diemap，然后对diemap做检测，查看在晶圆边缘时候有无法识别的对位标记，如果有，则更改对位标记，并重新画diemap，使所有的die都能被正确的识别。由此可以减少晶圆测试过程中的卡机现象和测试对位不精确的现象，提高测试效率和测试准确率。

主权项

一种晶圆测试方法，其特征在于包括步骤：1)将晶圆转载到测试机台上，在晶圆表面建立坐标系统；2)确认第一对位标记；3)利用该第一对位标记建立第一个晶格；4)计算上述第一个晶格的坐标，画出晶格分布图；5)检测晶圆边缘是否有晶格的第一对位标记无法识别，如果检测结果为晶圆边缘所有晶格的第一对位标记都能识别，则完成在晶圆上画晶格分布图的工艺，进行下一步工艺；当在晶圆的单侧边或相交的双侧边出现第一对位标记无法识别的晶格时，则在所述第一对位标记无法识别的晶格位于晶圆位位置的反方向上进行搜寻第二对位标记；当在晶圆的四个侧边同时出现第一对位标记无法识别的晶格时，则将用来确定新的晶格的三个第二对位标记之间的距离拉大；如果检测结果为晶圆边缘的晶格无法识别所有第一对位标记的，则更换第一对位标记，以第二对位标记重复步骤3)至步骤5)；6)直至晶圆上画晶格分布图的工艺完成后，确定需要测试的晶格的测试点，并利用这些测试点对晶格进行测试。