[发明专利]硅片边缘倒角方法无效
| 申请号： | 201110231821.2 | 申请日： | 2011-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN102343538A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 沈辉辉;赵林;黄春峰 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201617 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片边缘倒角方法，使用倒角砂轮磨削硅片边缘进行倒角，其特征在于，采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度为27～35mm/12～18s；第4圈倒角速度为20-26mm/10～14s。本发明中的硅片边缘倒角方法，可提高硅片倒角质量。使用本发明中的硅片边缘倒角方法，倒角划伤比率降为0.0502％。倒角不良率降为0.063％。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 边缘 倒角 方法 | ||
【主权项】：
硅片边缘倒角方法，使用倒角砂轮磨削硅片边缘进行倒角，其特征在于，采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度为27～35mm/12～18s；第4圈倒角速度为20‑26mm/10～14s。
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