[发明专利]透明电极发光二极管及其制备方法有效
| 申请号： | 201110231980.2 | 申请日： | 2011-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN102255028A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 谈健;徐亚兵;岑龙斌 | 申请（专利权）人： | 湘能华磊光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/42 | 分类号： | H01L33/42;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明 |
| 地址： | 423038 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种透明电极发光二极管及其制备方法，透明电极发光二极管包括氮化镓外延片，氮化镓外延片中，在P型氮化镓层上覆盖有透明导电膜层，透明导电膜层为钛/氧化锌或氧化钛/氧化锌复合透明导电膜；钛/氧化锌复合透明导电膜，包括：钛层，覆盖在P型氮化镓层上；氧化锌层，覆盖在钛层上；氧化钛/氧化锌复合透明导电膜，包括：氧化钛层，覆盖在P型氮化镓层上；氧化锌层，覆盖在氧化钛层上。该透明电极发光二极管，通过改善二极管的氮化镓外延片中位于P型氮化镓层上透明导电膜层的材质，降低透明导电膜层接触电阻率，提高光透过率，进而提高透明电极发光二极管的发光效率，并延长该透明电极发光二极管的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 电极 发光二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种透明电极发光二极管，包括氮化镓外延片，其特征在于，所述氮化镓外延片的P型氮化镓层(5)上覆盖有透明导电膜层，所述透明导电膜层为钛/氧化锌或氧化钛/氧化锌复合透明导电膜；所述钛/氧化锌复合透明导电膜，包括：钛层(6)，覆盖在所述P型氮化镓层(5)上；氧化锌层(7)，覆盖在所述钛层(6)上；所述氧化钛/氧化锌复合透明导电膜，包括：氧化钛层(6’)，覆盖在所述P型氮化镓层(5)上；氧化锌层(7)，覆盖在所述氧化钛层(6’)上。
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