[发明专利]放射线敏感性树脂组合物、固化膜、固化膜的形成方法、滤色器以及滤色器的形成方法无效

专利信息
申请号: 201110235558.4 申请日: 2011-08-10
公开(公告)号: CN102375340A 公开(公告)日: 2012-03-14
发明(设计)人: 米田英司;西信弘;儿玉诚一郎;猪俣克巳 申请(专利权)人: JSR株式会社
主分类号: G03F7/027 分类号: G03F7/027;G02B5/20;G03F7/00
代理公司: 北京三幸商标专利事务所 11216 代理人: 刘激扬
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物、固化膜、固化膜的形成方法、滤色器以及滤色器的形成方法。本发明的目的是提供一种兼具保存稳定性和短时间的低温焙烧,且具有足够敏感度和显影性的放射线敏感性树脂组合物;压缩特性、耐热性、相对介电常数、耐溶剂性、硬度和电压保持率优异的固化膜;该固化膜的形成方法;以及耐热性、耐溶剂性、电压保持率等优异的滤色器。本发明是一种放射线敏感性树脂组合物,其含有[A]碱可溶性树脂、[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物、[C]放射线敏感性聚合引发剂、[D]下式(1)表示的化合物以及[E]作为有机酸或无机酸的化合物,在25℃下的粘度为1.0mPa·s~50mPa·s。
搜索关键词: 放射线 敏感性 树脂 组合 固化 形成 方法 滤色器 以及
【主权项】:
1.一种放射线敏感性树脂组合物,其含有,[A]碱可溶性树脂,其通过将(A1)选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐构成的群组中的至少1种化合物与(A2)含有环氧基的不饱和化合物共聚而得到、[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物、[C]放射线敏感性聚合引发剂、[D]下式(1)表示的化合物,和[E]作为有机酸或无机酸的化合物,其在25℃下的粘度为1.0mPa·s~50mPa·s,在式(1)中,m为2~6的整数,其中,式(1)中的亚烷基所具有的部分或全部氢原子任选被有机基团取代。
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