[发明专利]正型光敏树脂组合物、利用其制造的光敏树脂层、和包含该光敏树脂层的半导体器件

摘要

本发明提供了正型光敏树脂组合物，其包括：(A)包括含有由以下化学式1表示的重复单元和由以下化学式2表示的重复单元并在至少一个末端上具有热聚合性官能团的第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体；(B)光敏重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)酚化合物；和(E)溶剂。本发明提供了利用该正型光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜。并提供了一种包含该光敏树脂膜的半导体器件。利用该正型光敏树脂组合物制造的膜具有改善的机械性质、可靠性、灵敏度、分辨率、图案外观和残余物除去性。

主权项

1.一种正型光敏树脂组合物，包括：(A)包括含有由以下化学式1表示的重复单元和由以下化学式2表示的重复单元、并在至少一个末端上具有热聚合官能团的第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体；(B)光敏重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)酚化合物；以及(E)溶剂：[化学式1][化学式2]在化学式1和2中，X¹在每个重复单元中相同或不同，并且各自独立地为取代或未取代的C6至C30芳香族有机基团、取代或未取代的四价至六价的C1至C30脂肪族有机基团、或者取代或未取代的四价至六价的C3至C30脂环族有机基团，X²在每个重复单元中相同或不同，并且各自独立地为由以下化学式3表示的官能团，以及Y¹和Y²相同或不同，并且各自独立地为取代或未取代的C6至C30芳香族有机基团、取代或未取代的二价至六价的C1至C30脂肪族有机基团、或者取代或未取代的二价至六价的C3至C30脂环族有机基团，[化学式3]在化学式3中，Z¹在每个重复单元中相同或不同，并且各自独立地为单键、-O-、-COO-、-OCO-、-NH-、-CONH-、取代或未取代的C1至C15亚烷基、取代或未取代的C2至C15亚烯基、或者取代或未取代的C2至C15亚炔基，G¹在每个重复单元中相同或不同，并且各自独立地为单键、取代或未取代的C6至C30芳香族有机基团、取代或未取代的二价至六价的C3至C30脂环族有机基团、或者取代或未取代的二价至六价的C2至C30杂环基团，R¹在每个重复单元中相同或不同，并且各自独立地为氢、氟、羟基、硫醇基、取代或未取代的C1至C30羧基、或者取代或未取代的C1至C30脂肪族有机基团，R²在每个重复单元中相同或不同，并且各自独立地为氢、取代或未取代的C1至C30烷基、取代或未取代的C1至C30羧基、羟基、或硫醇基，n₁为1至5的整数，以及n₂为0至3的整数。