[发明专利]容器保管设备

摘要

本发明提供容器保管设备，能够尽量防止在保管位置与收受位置之间移动自如的容器保管部中气体供给管的劣化以及粉尘的发生，并能够向容器内供给惰性气体。本发明的容器保管设备的容器保管部具备在保管位置以及在与运送机构之间收受容器的收受位置的范围内相对于固定框体移动自如地设置的容器支撑体，相对由保管位置的容器支撑体支撑的容器供给惰性气体的气体供给机构中的气体供给管具备固定侧部分以及与容器支撑体一体移动自如的移动侧部分，设有连结体，通过容器支撑体从收受位置向保管位置的移动而连结固定侧部分与移动侧部分，通过容器支撑体从保管位置向收受位置的移动而解除固定侧部分与移动侧部分的连结，使移动侧部分离开固定侧部分。

主权项

一种容器保管设备，具备运送用于收容基板的容器的运送机构，和保管由上述运送机构运送的容器的容器保管部，其特征在于，上述容器保管部具备：以固定状态设置的固定框体，和在保管上述容器的保管位置以及在与上述运送机构之间收受上述容器的收受位置的范围内相对于上述固定框体移动自如地设置的容器支撑体；设有气体供给机构，通过气体供给管向由位于上述保管位置的上述容器支撑体支撑的上述容器供给惰性气体；上述气体供给管具备设在上述固定框体一侧的固定侧部分，以及与上述容器支撑体一体移动自如地设在上述容器支撑体一侧的移动侧部分；设有连结体，通过上述容器支撑体从上述收受位置向上述保管位置的移动而连结上述固定侧部分与上述移动侧部分，并且通过上述容器支撑体从上述保管位置向上述收受位置的移动而解除上述固定侧部分与上述移动侧部分的连结，使上述移动侧部分离开上述固定侧部分。