[发明专利]光电传感器

摘要

本发明涉及一种光电传感器，其包括基于CMOS工艺的平面光波导及以集成电路实现的传感器，所述平面光波导及传感器集成在一芯片上，所述平面光波导设置在金属布线层上，所述传感器的感光元件用于响应所述平面光波导传导的光信号。本发明通过采用标准CMOS工艺制作平面光波导，然后将平面光波导与以集成电路实现的传感器制作在同一块芯片上，实现了平面光波导与传感器片上集成，因而体积小，能把入射的信号光更好地聚集到传感器的感光元件上，从而提高了传感器的量子效率，探测灵敏度及光学性能，其制作工艺简单，便于集成，解决了光电传感器难以同时集成复杂的光电性能在单一芯片上的问题，成本低，便于大规模产业化制作。

主权项

一种光电传感器，其特征在于：包括基于CMOS工艺的平面光波导及以集成电路实现的传感器，所述平面光波导及传感器集成在一芯片上，所述平面光波导设置在金属布线层上，所述传感器的感光元件用于响应所述平面光波导传导的光信号。