[发明专利]一种快速寻找束流最大值的方法无效
| 申请号： | 201110241133.4 | 申请日： | 2011-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN102956425A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 周文龙;唐景庭;杨亚兵 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明阐述了一种快速寻找束流最大值的方法，其特征在于在改变电源输入值，寻找束流最大值的过程中，通过缓存记忆电源输入的三个值及其对应的束流值作为三组分析数据，并且对这三组数据进行趋势判断，来寻找束流最大值。本方法涉及离子注入机，属于半导体制造领域。束流值与电源设定值宏观上呈一个二次曲线的关系(1)，当电源设定到某个值时，束流值达到最大。本方法会缓存三个具有一定关系的电源设定值及所对应的束流值作为三组分析数据，这三组数据可能有三种情况：上升趋势(2)，二次曲线趋势(3)，下降趋势(4)。通过分析这三组趋势找到最大的束流值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 寻找 最大值 方法 | ||
【主权项】：
一种快速寻找束流最大值的方法其特征在于：会缓存三组电源设定值及对应的束流值作为分析数据。
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