[发明专利]一种大视场折反射投影物镜有效
申请号: | 201110241768.4 | 申请日: | 2011-08-22 |
公开(公告)号: | CN102955234A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 武珩;黄玲 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B17/08 | 分类号: | G02B17/08;G03F7/20 |
代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人: | 王光辉 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明一种大视场折返射投影物镜,包括:一第一光学镜组,其中光学元件均为透镜,镜组的光焦度为正;一第二光学镜组,其中至少包括两个反射镜以及三个透镜,镜组光焦度为正;其中,所述第一第二光学镜组的光学元件均同轴,且所述两个反射镜位于光路的最后,将光路折返,以缩短光程。本发明的投影物镜在能够实现2x放大倍率设计,满足实际的产品需求的同时,反射镜尺寸大大减小,降低了制造难度,并使视场的高度与宽度比控制在合理的范围内。 | ||
搜索关键词: | 一种 视场 反射 投影 物镜 | ||
【主权项】:
一种大视场折反射投影物镜,其特征在于包括:一第一光学镜组,其中光学元件均为透镜,镜组的光焦度为正;一第二光学镜组,其中至少包括两个反射镜以及三个透镜,镜组光焦度为正;其中,所述第一第二光学镜组的光学元件均同轴,且所述两个反射镜位于光路的最后,将光路折返,以缩短光程;其中,所述大视场折反射投影物镜放大倍率大于1。
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