[发明专利]化学气相沉积SiC/C梯度表面涂层提高石墨电极抗氧化性的方法

摘要

本发明公开了一种化学气相沉积SiC/C梯度表面涂层提高石墨电极抗氧化性的方法，对石墨电极进行表面预处理；将表面预处理后的石墨电极固定在化学气相沉积设备水冷式反应炉内的支架上，炉内抽真空；加热反应炉中的石墨电极，通入CH4气体，在石墨电极表面形成一层热解碳；保持腔体温度不变，通入载体气H2，经由沸腾的SiCl4液体，载体气H2带出的SiCl4气体在石墨电极表面与CH4气体反应并沉积；沉积结束后，保持腔体温度不变，保持H2气氛，将石墨电极在炉内原位热处理，热处理结束后将石墨电极随炉冷却至室温，得到具有SiC/C梯度功能表面保护层的石墨电极。本发明具有更好的渗透性，能够渗入石墨电极基体表面任何细微的孔隙，对于表面空隙的抗氧化，具有良好的效果。

主权项

一种化学气相沉积SiC/C梯度表面涂层提高石墨电极抗氧化性的方法，其特征在于步骤如下：步骤1，对石墨电极进行表面预处理，包括表面抛光、清洗和干燥；步骤2，将表面预处理后的石墨电极固定在化学气相沉积设备水冷式反应炉内的支架上，炉内抽真空；步骤3，加热反应炉中的石墨电极，通入CH4气体，在石墨电极表面形成一层热解碳；步骤4，保持腔体温度不变，通入载体气H2，经由沸腾的SiCl4液体，载体气H2带出的SiCl4气体在石墨电极表面与CH4气体反应并沉积；步骤5，沉积结束后，保持腔体温度不变，保持H2气氛，将石墨电极在炉内原位热处理，热处理结束后将石墨电极随炉冷却至室温，得到具有SiC/C梯度功能表面保护层的石墨电极。