[发明专利]玻璃基板缺陷检查装置以及玻璃基板缺陷检查方法

摘要

本发明提供能够确保玻璃基板在搬运方向的平坦性、高精度地进行检查的玻璃基板缺陷检查装置或者玻璃基板缺陷检查方法。本发明的特征在于：在通过空气产生悬浮力使玻璃基板悬浮，将玻璃基板向不存在所述悬浮力的检查区域搬运，在所述检查区域内对所述玻璃基板进行摄像并进行检查的玻璃基板缺陷检查装置或者检查方法中，降低所述检查区域内的所述玻璃基板搬运方向的端部的跳起导致的位移量，进行所述检查。另外，本发明的特征还在于如下进行所述降低：测定所述检查区域内的所述玻璃基板的所述位移量，并基于所述位移量测定结果，使进行所述摄像的摄像单元移动。

主权项

一种玻璃基板缺陷检查装置，具有通过空气使玻璃基板悬浮的悬浮装置、向不存在所述悬浮装置的检查区域搬运所述玻璃基板的搬运装置、以及在所述检查区域内对所述玻璃基板进行摄像并进行检查的光学式检查装置，该玻璃基板缺陷检查装置的特征在于，具有降低单元，该降低单元降低所述检查区域内的所述玻璃基板搬运方向的端部的跳起导致的位移量。