[发明专利]去除器件上的碱性溶液的方法及设备无效
| 申请号： | 201110246139.0 | 申请日： | 2011-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN102954676A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 高琦;蔡淘璞;唐伟荣;赵玉林 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00;F26B21/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 杜娟娟;王忠忠 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在湿制程中利用风刀去除器件上的碱性溶液的方法。所述方法包括在将压缩空气送入风刀之前，处理所述压缩空气使其到达预设温度，其中所述风刀向器件排出空气以有效去除器件上的碱性溶液。本发明还提供相应的设备。根据本发明，风刀可以在更长的时间保持畅通不堵塞。 | ||
| 搜索关键词： | 去除 器件 碱性 溶液 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种在湿制程中利用风刀去除器件上的碱性溶液的方法，所述方法包括将压缩空气送入风刀，由风刀向器件排出空气，其特征在于，在所述压缩空气进入风刀之前，处理所述压缩空气使其到达预设温度。
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