[发明专利]化学气相沉积法涂层装置

摘要

本发明创造涉及化学气相沉积法涂层装置。采用的技术方案是：包括反应炉，反应炉内设有支撑筒，支撑筒上端设有排气帽，反应炉和支撑筒之间为尾气通道，支撑筒内从上到下依次为沉积区、气体分配区和预热区；沉积区内：设有若干托盘），托盘上设有若干通气孔Ⅰ；气体分配区内：支架Ⅰ固定挡板，挡板上端安装至少三层隔板，支架Ⅱ固定隔板，隔板上设有若干通气孔Ⅱ；预热区内：安装若干层预热板，进气管的出口端与气体分配区相通，支撑筒在预热区部位的下端设有尾气入口，预热区的下端设有尾气出口。还设有加热炉，反应炉置于加热炉内。采用本发明创造的涂层装置，涂层均匀度高，具有较高的附着力，提高了产品的耐磨损性和耐缺损性。

主权项

化学气相沉积法涂层装置，包括反应炉（1），其特征在于：反应炉（1）内设有支撑筒（3），支撑筒（3）上端设有排气帽（2），支撑筒（3）内从上到下依次为沉积区（4）、气体分配区（5）和预热区（6）；沉积区（4）内：设有若干托盘（41），托盘（41）上设有若干通气孔Ⅰ（42）；气体分配区（5）内：支架Ⅰ（54）固定挡板（53），挡板（53）上端安装至少三层隔板（51），支架Ⅱ（52）固定隔板（51），隔板（51）上设有若干通气孔Ⅱ（55）；预热区（6）内：安装若干层预热板（63），进气管（61）的出口端与气体分配区（5）相通，支撑筒（3）在预热区部位的下端设有尾气入口（62），预热区（6）的下端设有尾气出口（64）。