[发明专利]一种增强型拉曼光谱测试片装置及测试片制作方法无效

专利信息
申请号: 201110246234.0 申请日: 2011-08-25
公开(公告)号: CN102954956A 公开(公告)日: 2013-03-06
发明(设计)人: 吴砺;凌吉武;林江铭;林志强;任策;刘鸿飞 申请(专利权)人: 福州高意光学有限公司
主分类号: G01N21/65 分类号: G01N21/65
代理公司: 福建炼海律师事务所 35215 代理人: 许育辉
地址: 350001 福建省福州*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种增强型拉曼光谱测试片装置,包括多模光纤、裸光纤连接器、连接支架和测试片。本发明还公开了该测试片制作方法,首先在光学材料基底上镀金属膜层,并在金属膜层上涂光刻胶,通过掩膜光刻获得覆盖于金属膜层上的光刻胶阵列;然后对光刻胶阵列下的金属膜层进行深度腐蚀处理,获得金属立柱阵列,去除多余的光刻胶;最后在金属立柱阵列上覆盖一层惰性保护层。该增强型拉曼光谱测试片装置抗干扰能力强,灵敏度高,适用于在线分析、实时检测、痕量有毒有害物质测量等多种场合的信息采集和传输;本发明的测试片制作方法,基于表面增强拉曼散射技术以及半导体制作工艺,工艺简单,易于实现,制造方便,成本低,无需预处理。
搜索关键词: 一种 增强 型拉曼 光谱 测试 装置 制作方法
【主权项】:
一种增强型拉曼光谱测试片装置,包括多模光纤和裸光纤连接器,其特征在于:还包括连接支架和测试片;所述连接支架一端连有多模光纤,一端安置测试片;所述测试片包括一光学材料基底,其上设置有纳米量级的金属立柱阵列,并于该金属立柱阵列外表面镀一层惰性保护层。
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