[发明专利]多级差分抽超高真空样品传递机构无效
| 申请号： | 201110248928.8 | 申请日： | 2011-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN102393468A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 郭方准 | 申请（专利权）人： | 大连齐维科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01N35/00 | 分类号： | G01N35/00 |
| 代理公司： | 大连星海专利事务所 21208 | 代理人： | 于忠晶 |
| 地址： | 116023 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及超高真空设备开发领域。多级差分抽超高真空样品传递机构，由差分抽机构和传样杆驱动器组成，差分抽机构是腔体内通过密封圈隔断成2－3个空间，每个空间有独立的真空获得机构和检测机构，一级差分抽空间与传样杆驱动器固定连接，从传样杆驱动器端至超高真空腔体端，各差分抽空间的真空获得能力依次增强，最高级差分抽空间与超高真空腔体固定连接，传样杆驱动器的传样杆插装在差分抽腔室内，由传样杆驱动机构驱动。本发明实现从大气到超高真空腔体之间的高速样品传递，极大地提高了实验效率和可靠性。本发明解决了宇宙飞船中仪器设备承受太空宇宙线辐射研究的核心技术课题。填补了国内空白，达到国际一流水平。 | ||
| 搜索关键词： | 多级 差分抽 超高 真空 样品 传递 机构 | ||
【主权项】：
多级差分抽超高真空样品传递机构，由差分抽机构和传样杆驱动器组成，其特征是：差分抽机构是腔体内通过密封圈隔断成2－3个空间，每个空间有独立的真空获得机构和检测机构，一级差分抽空间与传样杆驱动器固定连接，从传样杆驱动器端至超高真空腔体端，各差分抽空间的真空获得能力依次增强，最高级差分抽空间与超高真空腔体固定连接，传样杆驱动器的传样杆插装在差分抽腔室内，由传样杆驱动机构驱动。
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