[发明专利]Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法无效
| 申请号： | 201110250663.5 | 申请日： | 2011-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN102955185A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 朱京涛;周斯卡;李浩川;王占山 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G02B1/10;B32B9/04;B32B15/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 林君如 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法，在超光滑的硅片或玻璃基底上镀制打底层，再交替镀制Mg、Mo和SiC膜层形成Mg/Mo/SiC周期多层膜，最后镀制SiC作为保护层即可。本发明采用熔点高、相态稳定的金属Mo加入到多层膜Mg/SiC中，制作出的三种材料的极紫外多层膜反射镜，克服了Mg/SiC等传统的Mg基多层膜带宽窄的缺点，同时，在极紫外波段Mo的光学常数合适，Mg/Mo/SiC多层膜反射镜保持了Mg基多层膜反射镜高的反射率。因此，Mg/Mo/SiC多层膜反射镜同时兼顾了反射率和工作带宽两方面的光学性能，特别适用于同步辐射光源、超快激光和空间观测等领域等极紫外波段应用。 | ||
| 搜索关键词： | mg mo sic 紫外 多层 反射 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜，其特征在于，该反射镜由硅片或玻璃的基底(1)、打底层(2)及Mg/Mo/SiC周期多层膜(6)构成，所述的Mg/Mo/SiC周期多层膜(6)由多层厚度恒定的Mg膜(3)、Mo膜(4)及SiC膜(5)周期排列组成。
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