[发明专利]用于透射电子显微镜的检测器系统有效
| 申请号： | 201110251918.X | 申请日： | 2011-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN102376517A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | U.吕肯;R.肖恩马克斯;F.J.P.舒尔曼斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H04N5/335;H01J37/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘春元;李家麟 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于透射电子显微镜的检测器系统。在一种透射电子显微镜检测器系统中，在图像采集时间段期间从像素读出图像数据并且对其进行分析。根据所述分析的结果，修改图像采集过程。例如，所述分析可以指示在数据中包含比如充电或起泡之类的图像伪像，并且可以从最终图像中去除包含伪像的数据。CMOS检测器提供在高数据速率下选择性地读出像素，从而允许实时地自适应成像。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 透射 电子显微镜 检测器 系统 | ||
【主权项】：
一种用于透射电子显微镜（202）的检测器系统（204），包括：像素（218）的阵列（216），用于在成像时间段期间将撞击电子转换成电子信号；第一计算机存储器，包括多个数据存储区（404）以用于存储在图像采集时间段内的不同时间处由所述阵列中的一个或更多像素捕获的数据；以及处理器（402），被编程来分析在图像采集时间段期间的不同时间处来自所述阵列中的一个或更多像素的数据，并且在采集图像的同时基于所述分析结果来修改图像采集过程。
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