[发明专利]形成接触窗的方法

摘要

一种形成接触窗的方法，用于一晶体管数组基板，其具有多个第一接触垫、多个位在第一接触垫上方的第二接触垫、一覆盖第一接触垫的第一绝缘层及一覆盖第二接触垫的第二绝缘层。在此方法中，首先，在第二绝缘层上形成一具有多个凹槽与多个第一开口的光阻图案层。第一开口局部暴露第二绝缘层。接着，移除位在第一开口内的部分第一绝缘层与部分第二绝缘层，以暴露第一接触垫。接着，减少光阻图案层的厚度，以使凹槽形成局部暴露第二绝缘层的第二开口。之后，移除位在第二开口内的部分第二绝缘层，以暴露第二接触垫。本发明能降低发生过蚀刻的可能性，从而减少晶体管数组基板的制造成本。

主权项

在该第二绝缘层上形成一光阻图案层，其中该光阻图案层具有多个凹槽与多个第一开口，该些第一开口局部暴露该第二绝缘层，而该些凹槽未暴露该第二绝缘层，该些第一开口分别位在该些第一接触垫的正上方，而该些凹槽分别位在该些第二接触垫的正上方；以该光阻图案层为屏蔽，移除位在该些第一开口内的部分该第二绝缘层与部分该第一绝缘层，以暴露该些第一接触垫；减少该光阻图案层的厚度，以使该些凹槽形成多个第二开口，其中该些第二开口局部暴露该第二绝缘层；以及以厚度减少后的该光阻图案层为屏蔽，移除位在该些第二开口内的部分该第二绝缘层，以暴露该些第二接触垫。