[发明专利]半导体装置和制造方法有效
申请号: | 201110252935.5 | 申请日: | 2011-08-24 |
公开(公告)号: | CN102376716A | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 张美菁;许国原;陶昌雄 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/11 | 分类号: | H01L27/11;H01L21/8244;G11C11/413 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 刘晓飞;张龙哺 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种半导体装置和制造方法,该半导体装置具有第一和第二互连结构,分别位于一阵列的第一列和第二列。第一和第二互连结构分别具有一参考电位节点,以及第一、第二、第三和第四导体,彼此耦接,并分别位于第一层、第二层、第三层、第四层之上,且位于一基板之上,该基板具有多个装置以界定多个位元单元。第一和第二互连结构的参考电位节点各自提供分开的一参考电位给对应于所属互连结构的上述位元单元之一者。第一导体、第二导体、第三导体和第四导体之中,无任何一者电性连接到另一个互连结构的对应导体,而第二层在第一层之上,第三层在第二层之上,第四层在第三层之上。本发明实施例能够减少存储器单元的漏电。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,包括:一第一互连结构和一第二互连结构,分别位于一阵列的一第一列和一第二列之中,上述阵列具有至少一行和至少二列,上述第一互连结构和上述第二互连结构位于一第一行中,而上述第一互连结构和上述第二互连结构分别包括:一第一参考电位节点;以及一第一导体、一第二导体、一第三导体、一第四导体,彼此耦接,且分别位于一第一层、一第二层、一第三层、一第四层之上,也位于一基板之上,上述基板具有多个装置以界定多个位元单元,上述第一参考电位节点各自提供分开的一参考电位,给对应于所属的上述第一互连结构或上述第二互连结构之一的上述位元单元中之一,上述第一导体、上述第二导体、上述第三导体和上述第四导体之中,无任何一个电性连接到另一个互连结构的对应导体;其中,上述第二层在上述第一层之上,上述第三层在上述第二层之上,上述第四层在上述第三层之上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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