[发明专利]一种测试结构及测试方法在审
| 申请号： | 201110255738.9 | 申请日： | 2011-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN102967813A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 甘正浩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/12;H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种测试结构，包括：两个梳状测试电路，所述两个梳状测试电路的梳齿金属线交错相嵌，其中，每个梳齿金属线至少一侧连接有若干平行或垂直于所述梳齿金属线的测试单元，不同梳状测试电路的相邻的测试单元相对排列。利用所述测试结构，还提出了一种测试方法。通过测量所述若干采用不同测试单元的测试结构或采用相同测试单元但相邻的测试单元之间间距不同的测试结构的击穿电压，并根据所述梳状测试电路之间的击穿电压以及对应梳状测试电路的测试单元的类型，测试出不同金属互连线的布线对击穿电压的影响程度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种测试结构，其特征在于，包括：两个梳状测试电路，所述两个梳状测试电路的梳齿金属线交错相嵌，其中，每个梳齿金属线至少一侧连接有若干平行或垂直于所述梳齿金属线的测试单元，不同梳状测试电路的相邻的测试单元相对排列。
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