[发明专利]一种水平气浮台有效
| 申请号： | 201110256009.5 | 申请日： | 2011-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN102436854A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 张瑞杰 | 申请（专利权）人： | 张瑞杰 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00 |
| 代理公司： | 北京华夏博通专利事务所 11264 | 代理人： | 孙东风;周达 |
| 地址： | 100039 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种水平气浮台，包括底座，所述底座上罩扣有槽型X向滑台，所述X向滑台上罩扣有槽型Y向滑台；所述槽型X向滑台开设有导通的第一进气孔和第一出气孔，当所述第一进气孔导入气体时，所述气体自第一出气孔导出并于底座与槽型X向滑台的罩扣面处形成气膜；所述槽型Y向滑台开设有导通的第二进气孔和第二出气孔，当所述第二进气孔导入气体时，所述气体自第二出气孔导出并于底座的顶面与槽型Y向滑台的两立槽的底面之间、以及槽型X向滑台与槽型Y向滑台的罩扣立面处形成气膜。本发明所述的水平气浮台中，以底座的顶面为唯一基准面，使得Y向滑台不会再有X向滑台导致的累计误差，从而能够更加精确的控制设备的X向运动和Y向运动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水平 浮台 | ||
【主权项】：
一种水平气浮台，包括底座，其特征在于，所述底座上罩扣有槽型X向滑台，所述X向滑台上罩扣有槽型Y向滑台；其中，所述槽型X向滑台开设有导通的第一进气孔和第一出气孔，当所述第一进气孔导入气体时，所述气体自第一出气孔导出并于底座与槽型X向滑台的罩扣面处形成气膜；所述槽型Y向滑台开设有导通的第二进气孔和第二出气孔，当所述第二进气孔导入气体时，所述气体自第二出气孔导出并于底座的顶面与槽型Y向滑台的两立槽的底面之间、以及槽型X向滑台与槽型Y向滑台的罩扣立面处形成气膜。
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