[发明专利]微等离子体产生装置及其灭菌系统

摘要

一种微等离子体产生装置及其灭菌系统，微等离子体产生装置包含一微等离子体产生单元，其包括：气体传输腔体，具有第一入口端及第一出口端，第一入口端输入第一气体；散热保护腔体，一侧连接第一出口端内壁；介电质内管，具有第二入口端及第二出口端且贯穿散热保护腔体，第二入口端连通气体传输腔体；电极，设置于第二出口端的外侧且位于散热保护腔体内；以及中空金属管，设置于气体传输腔体及介电质内管内，中空金属管具有第三入口端及第三出口端，第三入口端输入第二气体。

主权项

一种微等离子体产生装置，包括：一第一气体贮存单元，其用于存放一第一气体；一第二气体贮存单元，其用于存放一第二气体；一微等离子体产生单元，其包括：一气体传输腔体，具有一第一入口端及一第一出口端，其中，该第一入口端连接该第一气体贮存单元并输入该第一气体；一散热保护腔体，其一侧连接该气体传输腔体的该第一出口端内壁；一介电质内管，其具有一第二入口端及一第二出口端且贯穿该散热保护腔体，其中，该第二入口端连通该气体传输腔体；一电极，设置于该介电质内管的该第二出口端的外侧且位于该散热保护腔体内；以及一中空金属管，其设置于该气体传输腔体及该介电质内管内，该中空金属管具有一第三入口端及一第三出口端，该第三入口端连接该第二气体贮存单元并输入该第二气体；以及一电源供应单元，其耦合该电极及该中空金属管，以于该电极及该中空金属管之间产生微等离子体。