[发明专利]图案修正装置及图案修正方法无效
| 申请号： | 201110261129.4 | 申请日： | 2011-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN102431289A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 小池孝志 | 申请（专利权）人： | NTN株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/01 | 分类号： | B41J2/01 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡晓萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种图案修正装置，即便在基板表面带电的情形下，也能以简单的结构正确地修正缺陷部。该图案修正装置是对形成于绝缘基板(6)表面的导电性图案(7)的开放缺陷部(7a)进行修正的装置，包括：对缺陷部(7a)喷射加湿气体以局部提高缺陷部(7a)及其附近的湿度的加湿喷嘴(11)；以及在从加湿喷嘴(11)喷射加湿气体的期间，对缺陷部(7a)喷出修正墨水(2)的液滴(2a)的静电吸引型的喷墨喷嘴(1)。因此，不会受到缺陷部(7a)及其附近的静电的影响，能将修正墨水(2)涂布到缺陷部(7a)。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 修正 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种图案修正装置，其是对形成于基板表面的图案的缺陷部进行修正的图案修正装置，其特征在于，包括：局部提高所述缺陷部及其附近的湿度以除去所述缺陷部及其附近的静电的静电除去装置；以及对利用所述静电除去装置除去静电后的所述缺陷部喷出修正液体的液滴的静电吸引型的喷墨喷嘴。
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