[发明专利]硅烷分解法多晶硅制备设备无效
| 申请号： | 201110261570.2 | 申请日： | 2011-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN102976331A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 李丙科;陈加朋;李楠 | 申请（专利权）人： | 青岛赛瑞达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/029 | 分类号： | C01B33/029 |
| 代理公司： | 山东清泰律师事务所 37222 | 代理人： | 宁燕 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅制备设备，具体地说，涉及一种利用硅烷的热分解反应制取多晶硅制备设备，本发明为克服硅烷法制备多晶硅存在的缺陷，提供了一种安全系数高、产能高的硅烷分解法多晶硅制备设备，本发明其包括主反应室、气源单元、控制单元、电源单元、打压单元、真空单元，气源单元、控制单元、电源单元、打压单元、真空单元都和主反应室连接，气源单元和储存罐连接，本发明由于采用上述结构，保证了硅烷分解这一危险化学反应稳定运行，控制效果良好，提高了整个生产流程的安全性和高效性。操作人员通过组态王界面，细致了解热分解炉运作状况，减少事故发生率，最终实现了系统安全高效、节能降耗的目标。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 解法 多晶 制备 设备 | ||
【主权项】：
一种硅烷分解法多晶硅制备设备，其特征在于，其包括主反应室、气源单元、控制单元、电源单元、打压单元、真空单元，气源单元、控制单元、电源单元、打压单元、真空单元都和主反应室连接，气源单元和储存罐连接。
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