[发明专利]晶体生长炉加热器和蓝宝石晶体生长炉无效

专利信息
申请号: 201110265812.5 申请日: 2011-08-29
公开(公告)号: CN102345161A 公开(公告)日: 2012-02-08
发明(设计)人: 盛建明;王平;胡董成;张雪平 申请(专利权)人: 江苏同人电子有限公司
主分类号: C30B15/14 分类号: C30B15/14;C30B29/20
代理公司: 北京市德恒律师事务所 11306 代理人: 陆鑫;高雪琴
地址: 212400 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种晶体生长炉加热器,该加热器呈筒形,包括:多个电极,分布成环形,设置在筒形的一个端部;连接环,设置在筒形的另一个端部;钨丝网,一端与多个电极的每个电极连接,另一端与连接环连接,形成筒形的筒体。另一方面,本发明提供一种蓝宝石晶体生长炉,具有上述的加热器。本发明加热器采用双星形负载的三相交流电源供电方式,可以提高负载的均衡性。钨丝网加热体可以使加热器具有良好的均匀度、可靠性、以及稳定性。
搜索关键词: 晶体生长 加热器 蓝宝石
【主权项】:
一种晶体生长炉加热器,其特征在于,所述加热器呈筒形,包括:多个电极(1),分布成环形,设置在所述筒形的一个端部;连接环(3),设置在所述筒形的另一个端部;钨丝网(5),一端与所述多个电极(1)的每个电极(1)连接,另一端与所述连接环(3)连接,形成所述筒形的筒体。
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