[发明专利]亚常压化学气相沉积法设备气化阀堵塞的检测方法

摘要

本发明公开了一种亚常压化学气相沉积法设备气化阀堵塞的检测方法，包括如下步骤：1)记录腔体基准压力；2)设定载气流量为固定值，设定腔体压力为固定值，待载气流量稳定后，记录节流阀的位置A；3)将节流阀所开的位置设定在位置A上，保持载气流量为设定的固定值，腔体压力须在设定的固定值附近；4)分别流入TEOS液体流量，并记录腔体压力；5)计算各TEOS流量下腔体压力和腔体基准压力的差值；6)绘制TEOS流量和腔体压差的变化示意图，正常的TEOS流量和腔体压差变化为一条直线，由此判断不正常情况下的气化阀堵塞。本发明通过TEOS流量和腔体压力差的线性关系来检测气化阀的状况，可更高效及时地发现气化阀堵塞问题。

主权项

一种亚常压化学气相沉积法设备气化阀堵塞的检测方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)记录下腔体的基准压力；(2)设定载气流量为固定值，并设定腔体的压力为固定值，待载气流量稳定后，记录下节流阀的位置A；(3)将节流阀所开的位置设定在位置A上，保持载气流量为步骤(2)设定的固定值，此时腔体的压力必须在步骤(2)设定的固定值附近；(4)分别流入TEOS液体流量，并记录下腔体的压力；(5)计算出各个TEOS流量下的腔体压力和腔体基准压力的差值；(6)绘制TEOS流量和腔体压差的变化示意图，正常的TEOS流量和腔体的压差变化为一条直线且线性度比较好，而典型的不正常的变化线性度较低，由此可判断出不正常情况下的气化阀堵塞。