[发明专利]用于液晶显示器制造工艺的包含伯烷烃醇胺的光刻胶剥离组合物有效
申请号: | 201110271127.3 | 申请日: | 2011-09-14 |
公开(公告)号: | CN102486620A | 公开(公告)日: | 2012-06-06 |
发明(设计)人: | 崔好星;全汶教;裵钟一;李钟淳;梁惠星 | 申请(专利权)人: | LTC有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人: | 张颖玲;孟桂超 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开了一种用于液晶显示器(LCD)制造工艺的光刻胶剥离组合物,其用作所有薄膜晶体管-液晶显示器(TFT-LCD)制造工艺中通用的光刻胶剥离组合物。所述光刻胶剥离组合物包含:(a)1-20重量%的伯烷烃醇胺;(b)10-60重量%的醇;(c)0.1-50重量%的水;(d)5-50重量%的极性有机溶剂;以及(e)0.01-3重量%的阻蚀剂。所述剥离组合物具有在光刻工艺之后去除残留改性光刻胶的优良能力,适用于铝布线和铜布线,并用在有机膜形成工艺和正版标签(COA)工艺中。当所述剥离组合物用在由沸点为150℃或更高的醇和水组成的混合物中时,其防腐蚀能力提高并且预期寿命增加。 | ||
搜索关键词: | 用于 液晶显示器 制造 工艺 包含 烷烃 光刻 剥离 组合 | ||
【主权项】:
一种用于液晶显示器(LCD)制造工艺的光刻胶剥离组合物,其特征在于,该组合物包含:(a)1‑20重量%的伯烷烃醇胺;(b)10‑60重量%的醇;(c)0.1‑50重量%的水;(d)5‑50重量%的极性有机溶剂;以及(e)0.01‑3重量%的阻蚀剂。
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