[发明专利]一种无开裂锆钛酸铅镧薄膜的制备方法

摘要

无开裂锆钛酸铅镧薄膜的制备方法主要应用于溶胶-凝胶法制备高电光系数的锆钛酸铅镧晶体薄膜，通过使用新型添加剂来抑制消除薄膜制备中的开裂现象。本发明添加剂制备不开裂的PLZT薄膜，主要是利用溶胶-凝胶法制备PLZT溶胶，之后用旋转涂覆法制备PLZT湿膜，再通过高温热处理来得到PLZT电光薄膜。通过新型添加剂曲拉通-x100的使用结合热处理方案，成功的抑制了PLZT薄膜在高温热处理时易开裂的现象。通过该方法制备出的PLZT薄膜表面质量良好，并且通过高温急速热处理后不会开裂，具有很好的表面性质。

主权项

一种无开裂锆钛酸铅镧薄膜的制备方法，其特征在于该制备方法包括以下步骤：1）. 取三水合乙酸铅，乙酸镧，修饰剂丙烯酸加入溶剂甲醇中混合，在磁力搅拌器上40℃‑60℃恒温搅拌至所得第一种溶胶均匀；2）. 取钛酸四丁酯，乙酰丙酮，加入溶剂甲醇中混合，在磁力搅拌器上40℃‑60℃恒温搅拌至所得第二种溶胶均匀；3）. 取五水合硝酸锆，加入溶剂甲醇中混合、搅拌，直至五水合硝酸锆全部溶解之后，再加入乙酰丙酮，在磁力搅拌器上40℃‑60℃下恒温搅拌至所得第三种溶胶均匀；4）. 将步骤1）、2）所得第一种溶胶和所得第二种溶胶溶液混合，40℃‑60℃下恒温搅拌至所得第一种混合溶胶均匀；5）. 将步骤3）、4）所得的溶胶冷却至室温，加入乙醇胺，调节PH值至第二种混合溶胶变澄清；再将第二种混合溶胶置于磁力搅拌器上搅拌至均匀；6）.将步骤5）最终所得的第二种混合溶胶样品过滤后，加入曲拉通x‑100，并进行超声，然后在磁力搅拌器上匀速搅拌至此第二种混合溶胶样品均匀；7）. 步骤6）所得的第二种混合溶胶样品制备完成后，采用旋转涂覆法在洁净的基片上制备PLZT湿膜，制得湿膜之后进行第一次热处理，处理温度为100℃‑150℃之间，时间为5‑30分钟；8）. 将步骤7）所得的产品置于坩埚内，直接采用650℃‑900 ℃的高温持续烘烤样品半小时以上，再自然冷却到室温，得到无开裂锆钛酸铅镧薄膜。