[发明专利]一种光刻胶组合物及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201110274041.6 | 申请日： | 2011-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN102385249A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 张亚非;陶焘;魏浩;胡南滔 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人： | 高为华 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻胶组合物，本发明还涉及这种光刻胶组合物的制备方法，本发明还涉及这种光刻胶组合物的应用。本发明的光刻胶组合物，包括光刻胶和金属盐类光致发光离子；所述光刻胶作为连续相；所述金属盐类光致发光离子作为分散相，所述金属盐类光致发光离子在所述光刻胶中的质量体积浓度为0.0005～0.004g/mL。一种光刻胶组合物的制备方法，先用有机溶剂溶解所述金属盐类光致发光离子，然后与所述光刻胶混溶，混合均匀后，再加热蒸发掉所述有机溶剂。所述光刻胶组合物应用于集成电路光刻。本发明解决了现有技术中光刻胶的光刻分辨率低、光刻小尺寸器件时线条边缘往往不平整光滑的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 组合 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种光刻胶组合物，其特征在于，包括：光刻胶，所述光刻胶作为连续相；和金属盐类光致发光离子，所述金属盐类光致发光离子作为分散相，所述金属盐类光致发光离子是具有光致发光性能的金属盐类离子；所述金属盐类光致发光离子分散于所述光刻胶，所述金属盐类光致发光离子在所述光刻胶中的质量体积浓度为0.0005～0.004g/mL。
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